課程概述 |
一、 內容:
微機電系統(MEMS)技術是整合微電子及微機系之技術,含以矽晶為基礎的體及面微機械,X光及雷射的微影術(LIGA),以製造感測器,致動器及微系統產品,本課程如下:
1. 引言 (基本觀念及材料,發展趨勢)
2. 矽為基礎的微機械製作
3. LIGA 及A-LIGA技術
4. 包裝、測試及組件(PAT: packaging, assembly, and testing)
5. MEMS之應用
6. 從MEMS 到NEMS
7. 市場及技術發展前瞻
二、 教科書: 1. 講義 2. 孟憲鈺著”微機電系統技術”
三、成績評量採用term paper及口試
四、參考書:
1. MarC J. Madou, “Fundamental s of Microfabrication”, CRC Press(2002)
2. Mohamed Gad0el-Hak, “the MEMS Handbook”, CRC Press (2002) |